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1.
氮化铜薄膜制备中氮气比例对其结构及微观力学性能的影响
龚鹏
范真
丁建宁
程广贵
袁宁一
凌智勇
《表面技术》
2013,42(5):15-18,31
采用射频磁控溅射方法在玻璃基底上制备氮化铜薄膜,研究了氮氩混合气体中的氮气比例对薄膜择优生长取向、表面晶粒尺寸和微观力学性能的影响。结果表明:低氮气比例时,薄膜的纳米力学性能比较差;随着氮气比例的增加,氮化铜薄膜的择优生长晶面从(111)晶面转变为(100)晶面,晶粒尺寸变小,显微硬度增加,弹性模量则是先增加,后减小。
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